靶材的用途十分廣泛,應用于電腦顯示器,微電子領(lǐng)域,硬盤儲存。靶材材料可分為金屬靶材、陶瓷靶材、合金靶材。在生產(chǎn)這些靶材材料過程中,工廠需要進行嚴格的品質(zhì)要求控制,一般來說,影響靶材性能的因素有很多。其中,密度是影響靶材性能關(guān)鍵因素之一。所以,這就要用到專業(yè)檢測儀器-靶材密度測試儀DH-10G。
靶材密度作用:為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著薄膜的電學和光學性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應力。